Vistas:46 Autor:Editor del sitio Hora de publicación: 2023-08-21 Origen:Sitio
La tecnología MEMS Chip es una tecnología que integra microestructuras mecánicas y circuitos electrónicos. Significa sistemas microelectromecánicos, que utiliza la tecnología de microfabricación semiconductora para crear una variedad de estructuras microgecánicas del tamaño de un micrón en un chip, como microsensores y micro-activadores, que se integran con los circuitos CMOS.
Estas estructuras están integradas con circuitos CMOS y el tamaño de un Chip de MEMS suele ser entre micras y milímetros. Puede realizar algunas funciones específicas del sistema micro-mecánico.
El desarrollo de la tecnología MEMS se remonta a la década de 1960. Los primeros documentos académicos sobre MEMS se publicaron en ese momento. En ese momento, se publicó el primer artículo académico sobre MEMS. Este documento introdujo el concepto de MEMS. Posteriormente, en la década de 1980, con el desarrollo de la tecnología de fabricación de semiconductores. En particular, los avances en la fotolitografía llevaron a las principales empresas a investigar los MEMS basados en silicio.
En la década de 1990, se introdujo el primer producto comercial MEMS. Se utilizó para mejorar la detección de impacto de la bolsa de aire en sistemas automotrices. Desde entonces, la tecnología MEMS ha entrado en un período de desarrollo rápido, y el rango de aplicaciones continúa expandiéndose. Al mismo tiempo, varias tecnologías de procesamiento de MEMS y métodos de envasado han madurado y mejorado gradualmente.
En la actualidad, la tecnología MEMS se ha convertido en una plataforma de tecnología relativamente madura. Se utiliza ampliamente en una variedad de sistemas electrónicos, la aplicación principal de MEMS se concentra en el sistema electrónico automotriz. También hay varios productos electrónicos de consumo y control de procesos industriales y otros campos.
A la larga, con el desarrollo de Internet de las cosas, las redes de sensores MEMS también desempeñarán un papel importante. Además, el diseño integrado de chips MEMS y CMOS también es una dirección de desarrollo importante.
1. Sistemas electrónicos automotrices En una variedad de sensores
2, teléfonos inteligentes y tabletas dentro de los componentes
3, Pruebas biomédicas y químicos equipo de análisis
4, aeroespacial, industria de defensa y otros campos de alta gama
